本報記者 李昱丞 見習記者 解世豪
11月25日，華特氣體發(fā)布公告，稱其向不特定對象發(fā)行可轉(zhuǎn)債申請獲得上交所審議通過。此次擬募資總額不超6.46億元，其中3.83億元用于年產(chǎn)1764噸半導體材料建設(shè)項目，7300萬元用于研發(fā)中心建設(shè)項目，其余1.9億元用于補充流動資金。
【資料圖】
“我國是全球半導體消費大國，半導體行業(yè)景氣度持續(xù)走高，但國內(nèi)半導體用電子氣體市場一直被國際巨頭壟斷，為我國半導體供應(yīng)鏈的健康發(fā)展帶來了不確定性。華特氣體募投項目中的產(chǎn)品應(yīng)用于半導體生產(chǎn)的關(guān)鍵環(huán)節(jié)，該項目的實施有助于提升公司產(chǎn)能，擴大公司經(jīng)營規(guī)模，從而帶動本土企業(yè)積極參與國際競爭，推動國產(chǎn)替代的發(fā)展進程。”深度科技研究院院長張孝榮向《證券日報》記者表示。
募資加碼半導體用特種氣體
華特氣體主營業(yè)務(wù)以特種氣體的研發(fā)、生產(chǎn)及銷售為核心，輔以普通工業(yè)氣體、氣體設(shè)備與工程業(yè)務(wù)，打造一站式服務(wù)能力，能夠面向全球市場提供氣體應(yīng)用綜合解決方案。
據(jù)悉，在半導體材料中，電子特種氣體幾乎滲透到集成電路生產(chǎn)的每個環(huán)節(jié)，對集成電路的性能、集成度和成品率都有重大影響，被稱為半導體制造的“糧食”。
此次募投項目中的1764噸半導體材料建設(shè)項目實施主體為華特氣體全資子公司江西華特電子化學品有限公司，建設(shè)地位于江西省九江市永修縣經(jīng)濟開發(fā)區(qū)星火工業(yè)園，預(yù)計建設(shè)期為2年，項目總投資4.66億元，建成后將生產(chǎn)高純一氧化碳、高純一氧化氮、六氟丙烷及異構(gòu)體、溴化氫、三氯化硼、超高純氫氣、超純氪氣、超純氖氣、超純氦氣和超純氙氣共1764噸。
華特氣體表示，募投項目產(chǎn)品均為電子特種氣體，廣泛應(yīng)用于半導體生產(chǎn)的蝕刻、摻雜、沉積等工藝。其中，高純一氧化碳、高純一氧化氮、超高純氫氣及超純稀有氣體系公司原有的優(yōu)勢產(chǎn)品，近年來下游需求不斷增長，目前公司產(chǎn)能出現(xiàn)瓶頸，亟須擴產(chǎn)。
而高純六氟丙烷、電子級溴化氫和電子級三氯化硼為公司規(guī)劃的新產(chǎn)品，相關(guān)產(chǎn)品均著眼于下游半導體等應(yīng)用領(lǐng)域的未來發(fā)展趨勢，結(jié)合下游客戶的需求所布局，相關(guān)產(chǎn)品均具備較大的未來市場空間和國產(chǎn)化替代空間。
事實上，華特氣體擴產(chǎn)電子特種氣體的動作不止于此。公司還曾于9月26日晚發(fā)布公告表示，擬與江蘇省如東沿海經(jīng)濟開發(fā)區(qū)管理委員會簽訂項目建設(shè)協(xié)議書。公司擬于江蘇省如東沿海經(jīng)濟開發(fā)區(qū)建設(shè)生產(chǎn)基地，項目總投資5億元。建成后可生產(chǎn)2000噸/年高純氟碳氣體、1000噸/年高純二氧化碳和1000噸/年高純氧化亞氮等電子氣體。
加速實現(xiàn)國產(chǎn)替代
根據(jù)Linx數(shù)據(jù)，半導體所消費的特種氣體占全部電子特種氣體的73.1%，顯示面板為19.4%，化合物半導體及LED為4.4%，光伏為3.1%。根據(jù)TECHCET數(shù)據(jù)，全球電子特種氣體的市場規(guī)模2021年進一步增長至45.38億美元，預(yù)計2025年全球市場規(guī)模突破60億美元，2021-2025年CAGR為7.3%。
不盡如人意的是，電子特種氣體地位重要且市場空間廣闊，但目前國內(nèi)自主生產(chǎn)的電子特種氣體市場份額占比較小，還有較大的突破空間。華特氣體表示，長期以來，我國6N及6N以上的超高純氣體以及半導體前驅(qū)體材料主要依賴于國外進口，國內(nèi)行業(yè)內(nèi)企業(yè)亟待能夠打破國外壟斷、實現(xiàn)國產(chǎn)替代，形成自主可控的產(chǎn)業(yè)集群。
以華特氣體此次規(guī)劃的新產(chǎn)品電子級三氯化硼為例，電子級三氯化硼是用于半導體和集成電路領(lǐng)域的高純度三氯化硼，其純度需要達到99.99%以上。電子級三氯化硼主要應(yīng)用于電子工業(yè)硅半導體器件和集成電路生產(chǎn)所用的擴散、離子注入、干法蝕刻等工藝，其雜質(zhì)含量和純度直接影響半導體器件和集成電路的性能指標和良率，純度一般要求在5N以上，生產(chǎn)技術(shù)壁壘較高。
目前，全球電子級三氯化硼主要由日本宇部興產(chǎn)、日本昭和電工等國外氣體廠商壟斷，屬于被外資企業(yè)“卡脖子”的關(guān)鍵產(chǎn)品，對我國集成電路產(chǎn)業(yè)鏈的自主可控產(chǎn)生了較大威脅。
華特氣體相關(guān)負責人表示，“公司本次募投項目規(guī)劃電子級三氯化硼共300噸，主要目標是對目前我國集成電路等領(lǐng)域使用的電子級三氯化硼產(chǎn)品進行一定程度的國產(chǎn)替代。同時也有同行業(yè)其他公司在向這個目標努力。本次募投項目將進一步提高半導體材料國產(chǎn)化率，此外還能進一步完善公司產(chǎn)品布局，擴充公司氣體產(chǎn)品種類，為公司后續(xù)的業(yè)績貢獻新的利潤增長點。”
（編輯 袁元）
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